設備故障診斷系統資訊：物聯時代的智能傳感器

人類已經跨入21世紀，全面進入信息時代。無線振動傳感器基于無線技術的機器狀態監測，具有振動測量及溫度測量功能，操作簡單，自動指示狀態報警。應用于工業設備狀態管理及監測控制系統；適合現場設備運行和維護人員監測設備狀態，及時發現問題，保證設備正常可靠運行。振動故障診斷監測系統分析范圍20KHz；緩變信號通道不少于32路，16位精度，動態信號通道不少于4路，102.4kS/s；系統變攜，可以自帶電源連續工作4小時。一體化振動變送器將壓電傳感器和精密測量電路集成在一起，實現了傳統“傳感器+信號調理器”和“傳感器+監測儀表”模式的振動測量系統的功能；適合構建經濟型高精度振動測量系統。從某種意義上說，他們也進入了傳感器時代。在現代控制系統中，傳感器處于連接被測對象和測試系統的接口位置，可以直接或間接地與被測對象接觸，是信息輸入的窗口，是萬物相互關聯的眼睛，是數據信息采集的功能裝置，直接影響和決定著系統的性能。特別是物聯網、大數據、云計算，甚至是已經受到**關注的智能城市技術，都嚴重依賴于傳感器技術。

目前，世界上有26000多種傳感器。由于缺乏制定**標準的標準和規范，權威的傳感器標準類型尚未制定。其敏感機理、敏感材料、使用功能、應用領域相互交織，深度融合，難以厘清。各國、各行業從未停止過對標準劃分的爭論，各抒己見，爭論不休，導致產品名稱混亂、品種繁多、結構復雜、參數各異等復雜局面。目前行業只能分為簡單的物理傳感器、化學傳感器和生物傳感器。由于敏感機理和敏感材料、工業現場環境、使用場景的不同，以及被測介質的特性、個性化參數和復雜結構的不同，傳感器長期處于多品種、小批量生產的狀態。由于技術的分散性和復雜性以及設備的高價格，業界將其生產過程稱為制造工業手工藝品。圍繞工藝技術的協調與集成，各國工程技術人員在產品標準化、性能標準化、功能集成化、結構標準化、工藝裝備夾具產業化等方面了長期的技術開發和創新，形成了一大批各具特色的技術成果。MEMS技術是創新的源泉。以美國硅谷傳感器領域的MEMS技術為基礎，根據不同行業和功能的要求，了近25年的各種不同封裝結構的傳感器產品創新，形成了各種類型的傳感器產品，應用領域不斷拓展，得到了各行業的廣泛認可。正如硅谷MEMS技術創始人丹尼斯所說:20多年來，硅谷傳感器產品一直圍繞以硅基材料為主體的MEMS芯片，根據不同行業的市場應用需求，創新不同封裝結構的產品。因此，MEMS技術是各類傳感器的共性基礎技術，被業界稱為傳感器創新之源。目前成熟的MEMS工藝有4英寸、6英寸、8英寸、12英寸。隨著半導體平面工藝的升級換代，工藝設備和器件水平成熟度增強，價格不斷降低。MEMS工藝也在朝著更大的尺寸發展，工藝成熟度也在不斷增強。產品廣泛應用于物理、化學、生物傳感器，在聲敏、光敏、熱敏、力敏、磁敏、氣敏、濕敏、壓敏、離子敏傳感器中的應用已經成熟。